首頁 >>>
技術文章 >>> 詳細介紹萊寶真空泵的結構功能
詳細介紹萊寶真空泵的結構功能
更新更新時間:2019-11-04 瀏覽次數:1397
萊寶真空泵真空設備在所有半導體生產過程中發揮著極為重要的作用,針對特殊的生產要求必須選擇適合的真空設備。過去的幾年里,為*半導體行業需求,我們縮短產品開發周期,更加迅速的推出新的產品,大大提高了我們的服務質量。萊寶真空泵需在真空條件下操作的分析儀器行業是真空設備醉大和醉復雜的市場之一。這一市場包括平面分析儀器家族,質譜分光光度計,設計各異的電子顯微鏡和氦檢漏儀。我們的產品類型眾多,可適用于實驗室研發及*簡單的桌面操作。一些關鍵的性能參數顯示出萊寶真空泵、測量裝置及部件的工作能力,緊湊的結構設計,高超的技術水平和良好的穩定性能。 萊寶真空泵結構介紹:
萊寶真空泵安裝在泵體中的偏心轉子)有三塊葉片,它們把泵分成三個隔室,每個隔室的容積隨轉子的旋轉周期性的變化。
當轉子旋轉時,抽空腔的進氣部分容積擴大,將氣體從進氣口吸入,氣體經過空氣濾芯,打開的防返油閥進入腔泵。當轉子進一步旋轉,葉片從吸入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少,氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓時經過排氣閥從泵腔排出。
油在注入泵腔起密封、潤滑和泵冷卻的作用。壓縮氣體夾帶的油在油箱內由于折轉而被初步捕集。而后在出口油霧分離器中被*過濾。于是,排氣中油含量下降至低于可見程度。