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                                        技術文章
                                        首頁 >>> 技術文章 >>> 分子泵的性能原理及結構都是怎樣的呢?

                                        分子泵的性能原理及結構都是怎樣的呢?

                                        更新更新時間:2020-06-05 瀏覽次數:1475

                                               分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
                                          常規的分子泵使用軸承來確保葉片的高速旋轉。新型的分子泵采用磁懸浮構造,使得葉片轉速不斷提高的同時,更使分子泵適合超高真空系統,也延長了分子泵的使用壽命。
                                          分子泵與油封式旋片泵和渦輪式干泵相比,工作環境更加清潔,而且可以達到*的真空度。但是,分子泵不能在大氣壓下工作,必須和其他能夠在大氣壓下工作的粗抽真空泵(油封式旋片泵或渦輪式干泵)聯合使用。分子泵構造復雜、價格昂貴,高速旋轉工作時會有振動。
                                          分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同,利用了動量傳遞原理,使分子定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。
                                          分子泵在電機的帶動下高速旋轉,采用變頻電源驅動電機,目的是得到較高的轉速。在分子流區域內,氣體分子與高速轉到的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上,產生定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。通常把用高速運動的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運動的現象稱為分子牽引現象,利用這一現象制成的真空泵稱為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優點是啟動時間短,在分子流態下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸氣,特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小,密封間隙太小,工作可靠性較差,易出機械故降,而且制造困難,實際上很少應用。

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