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安捷倫分子泵結構通常包括以下幾個主要組成部分
更新更新時間:2023-10-22 瀏覽次數:731
安捷倫分子泵是一種高速旋轉的機械泵,因此對平衡的要求很高,對固體異物非常脆弱,通常要在分子泵的入口處安裝金屬過濾網。分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。常規的分子泵使用軸承來確保葉片的高速旋轉。新型的分子泵采用磁懸浮構造,使得葉片轉速不斷提高的同時,更使分子泵適合超高真空系統,也延長了分子泵的使用壽命。
1、泵體:泵體是分子泵的主體部分,通常由不銹鋼等材料制成。它包含了泵的內部結構和各種組件。
2、軸向壓縮器:軸向壓縮器位于泵體的入口處,用于提高氣體的壓力,并將其引導到分子泵的轉子。
3、離心壓縮器:離心壓縮器安裝在軸向壓縮器后面,其作用是進一步增加氣體的壓力并使其達到更高速度。
4、分子轉子:分子轉子是分子泵的核心部件,由多個旋轉的葉片組成。當氣體經過轉子時,分子與葉片碰撞,并被推向泵的出口方向。
5、靜態定子:靜態定子環繞著分子轉子,它們的形狀和間隙與分子轉子相匹配,以確保良好的密封性能。
6、冷阱:冷阱通常位于分子泵的出口處,用于捕獲和冷凝未被抽取的氣體或蒸汽分子。
7、控制系統:分子泵還包括一個控制系統,用于監測和控制泵的運行狀態,如轉速、溫度和壓力等參數。